| 电极化对FBAR应力负载效应影响的分析 |
其他题名 | Analysis of Effect of Charge Polarization on Stress-load Effect of FBAR
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| 张大鹏; 高杨; 王宇航; 文数文
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| 2018
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发表期刊 | 压电与声光
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ISSN | 1004-2474
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卷号 | 40期号:3页码:366-369 |
文章类型 | Article
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摘要 | 基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的力学传感器有很大的应用潜力,但其应力负载效应的敏感机理尚不明确。电极化效应可能是应力负载效应的敏感机理之一。为了研究电极化效应对谐振频率的影响,提出了电极化效应的解析模型。首先根据在理想FBAR中并联谐振频率与纵波声速的关系,推导出并联谐振频率关于压电层材料参数的表达式;然后根据直流电压主要对FBAR的弹性常数和厚度的影响,推导出并联谐振频率与直流电压的关系;最后利用压电效应,得到了力载荷与并联谐振频率的关系。代入数值计算得到并联谐振频率的相对偏移量为+1.003%@400V,对比测试结果,并联谐振频率的相对偏移量为+0.90%@400V,验证了模型的正确性。计算了力载荷为1mN时,电极化效应导致谐振频率的偏移量约为0.5kHz。对比实验测得的应力负载效应对谐振频率的偏移量最低约为262kHz,证明了在应力负载效应中,电极化效应对谐振频率偏移的影响可忽略。 |
关键词 | 微机电系统
力学传感器
薄膜体声波谐振器
应力负载效应
电极化效应
解析模型
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语种 | 中文
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CSCD记录号 | CSCD:6270714
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文献类型 | 期刊论文
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条目标识符 | https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286484
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专题 | 实验物理中心
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通讯作者 | 高杨 |
作者单位 | 中国科学院高能物理研究所
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第一作者单位 | 中国科学院高能物理研究所
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通讯作者单位 | 中国科学院高能物理研究所
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
张大鹏,高杨,王宇航,等. 电极化对FBAR应力负载效应影响的分析[J]. 压电与声光,2018,40(3):366-369.
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APA |
张大鹏,高杨,王宇航,&文数文.(2018).电极化对FBAR应力负载效应影响的分析.压电与声光,40(3),366-369.
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MLA |
张大鹏,et al."电极化对FBAR应力负载效应影响的分析".压电与声光 40.3(2018):366-369.
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