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电极化对FBAR应力负载效应影响的分析
其他题名Analysis of Effect of Charge Polarization on Stress-load Effect of FBAR
张大鹏; 高杨; 王宇航; 文数文
2018
发表期刊压电与声光
ISSN1004-2474
卷号40期号:3页码:366-369
文章类型Article
摘要基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的力学传感器有很大的应用潜力,但其应力负载效应的敏感机理尚不明确。电极化效应可能是应力负载效应的敏感机理之一。为了研究电极化效应对谐振频率的影响,提出了电极化效应的解析模型。首先根据在理想FBAR中并联谐振频率与纵波声速的关系,推导出并联谐振频率关于压电层材料参数的表达式;然后根据直流电压主要对FBAR的弹性常数和厚度的影响,推导出并联谐振频率与直流电压的关系;最后利用压电效应,得到了力载荷与并联谐振频率的关系。代入数值计算得到并联谐振频率的相对偏移量为+1.003%@400V,对比测试结果,并联谐振频率的相对偏移量为+0.90%@400V,验证了模型的正确性。计算了力载荷为1mN时,电极化效应导致谐振频率的偏移量约为0.5kHz。对比实验测得的应力负载效应对谐振频率的偏移量最低约为262kHz,证明了在应力负载效应中,电极化效应对谐振频率偏移的影响可忽略。
关键词微机电系统 力学传感器 薄膜体声波谐振器 应力负载效应 电极化效应 解析模型
语种中文
CSCD记录号CSCD:6270714
文献类型期刊论文
条目标识符https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286484
专题实验物理中心
通讯作者高杨
作者单位中国科学院高能物理研究所
第一作者单位中国科学院高能物理研究所
通讯作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张大鹏,高杨,王宇航,等. 电极化对FBAR应力负载效应影响的分析[J]. 压电与声光,2018,40(3):366-369.
APA 张大鹏,高杨,王宇航,&文数文.(2018).电极化对FBAR应力负载效应影响的分析.压电与声光,40(3),366-369.
MLA 张大鹏,et al."电极化对FBAR应力负载效应影响的分析".压电与声光 40.3(2018):366-369.
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