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用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)
其他题名Twist Angle of Mosaic Structure in GaN Films Determined by X-ray Diffraction
苏月永; 陈志涛; 徐科; 郭立平; 潘尧波; 杨学林; 杨志坚; 张国义
2006
发表期刊发光学报
期号4页码:514-518
其他摘要Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料在发光二极管、激光器和探测器方面有着广泛的应用,采用高分辨X射线衍射来测定用金属有机化学气相沉淀法在蓝宝石衬底上生长的氮化镓外延层马赛克结构的扭转角,分别研究了(0002)、(101-3)、(101-2)、(101-1)、(202-1)五个面的X射线摇摆曲线,并且用Pseudo-Voigt方程拟合每一个面的摇摆曲线,我们利用外推法很方便地测得氮化镓外延薄膜的面内扭转角。另外我们采用同步辐射X射线掠入射衍射对样品进行(11-00)面反射扫描直接测得面内扭转角,对第一种方法进行验证,两种方法测量结果相同。从而提供一种简单、方便的GaN外延层的面内扭转角的测试方法,为深入研...
关键词氮化镓 马赛克结构 扭曲角 掠入射X射线衍射 X射线衍射
项目资助者国家自然科学基金资助项目(60376005,60577030)~~
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222388
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
苏月永,陈志涛,徐科,等. 用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)[J]. 发光学报,2006(4):514-518.
APA 苏月永.,陈志涛.,徐科.,郭立平.,潘尧波.,...&张国义.(2006).用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文).发光学报(4),514-518.
MLA 苏月永,et al."用X射线衍射法测定氮化镓马赛克结构中的面内扭转角(英文)".发光学报 .4(2006):514-518.
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