IHEP OpenIR  > 多学科研究中心
高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究
其他题名MICROSTRUCTURESOF THE MICRO-CRYSTALLINE SILICON THIN FILMS PREPARED BY HOT WIRE CHEMICAL DEPOSITION WITH HYDROGEN DILUTION
郭晓旭; 朱美芳; 刘金龙; 韩一琴; 许怀哲; 董宝中; 生文君; 韩和相
1998
发表期刊物理学报 (IF:0.624[JCR-2016],0.462[5-Year])
期号9页码:89-94
关键词微晶硅薄膜 薄膜微结构 晶化过程 稀释度 晶态 微空洞 衬底温度 红外谱 散射强度 小角
项目资助者国家自然科学基金
文献类型期刊论文
条目标识符https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221666
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
郭晓旭,朱美芳,刘金龙,等. 高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究[J]. 物理学报,1998(9):89-94.
APA 郭晓旭.,朱美芳.,刘金龙.,韩一琴.,许怀哲.,...&韩和相.(1998).高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究.物理学报(9),89-94.
MLA 郭晓旭,et al."高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究".物理学报 .9(1998):89-94.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
3741.pdf(196KB)期刊论文作者接受稿限制开放CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[郭晓旭]的文章
[朱美芳]的文章
[刘金龙]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[郭晓旭]的文章
[朱美芳]的文章
[刘金龙]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[郭晓旭]的文章
[朱美芳]的文章
[刘金龙]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。