IHEP OpenIR  > 院士
利用LIGA技术制造夹钳
伊福廷; 唐鄂生; 张菊芳; 晋明; 冼鼎昌
1999
发表期刊微细加工技术
期号3页码:54-57
通讯作者伊福廷
关键词LIGA技术 微机械 微机器人
资助项目国家攀登计划资助项目
文献类型期刊论文
条目标识符https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215365
专题院士
多学科研究中心
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GB/T 7714
伊福廷,唐鄂生,张菊芳,等. 利用LIGA技术制造夹钳[J]. 微细加工技术,1999(3):54-57.
APA 伊福廷,唐鄂生,张菊芳,晋明,&冼鼎昌.(1999).利用LIGA技术制造夹钳.微细加工技术(3),54-57.
MLA 伊福廷,et al."利用LIGA技术制造夹钳".微细加工技术 .3(1999):54-57.
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