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利用LIGA技术制造夹钳
伊福廷; 唐鄂生; 张菊芳; 晋明; 冼鼎昌
1999
发表期刊微细加工技术
期号3页码:54-57
通讯作者伊福廷
其他摘要在航天、国防、医学、核物理等领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精密机械加工、 L I G A 技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统,单靠这些技术难以实现,需要进行系统的装配工作。微夹钳也是在这一需求下发展起来的。除此之外,在细胞操作和其他微细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用 L I G A 技术进行了这方面的研究工作,并得到了一些结果。
关键词LIGA技术 微机械 微机器人
资助项目国家攀登计划资助项目
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215365
专题院士
多学科研究中心
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GB/T 7714
伊福廷,唐鄂生,张菊芳,等. 利用LIGA技术制造夹钳[J]. 微细加工技术,1999(3):54-57.
APA 伊福廷,唐鄂生,张菊芳,晋明,&冼鼎昌.(1999).利用LIGA技术制造夹钳.微细加工技术(3),54-57.
MLA 伊福廷,et al."利用LIGA技术制造夹钳".微细加工技术 .3(1999):54-57.
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