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利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构 期刊论文
物理学报, 2005, 期号: 5, 页码: 2172-2175
Authors:  周炳卿;  刘丰珍;  朱美芳;  谷锦华;  周玉琴;  刘金龙;  董宝中;  李国华;  丁琨
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微晶硅薄膜  微结构  微空洞  x射线小角散射