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一种利用离子束刻蚀技术抛光微结构侧壁的方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103495907A, 申请日期: 2013-09-24, 公开日期: 2014-01-08
Inventors:  张天冲;  伊福廷;  王波;  刘静;  张新帅
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一种用于LIGA技术的光刻胶膜与基片的复合结构的制备方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103488051A, 申请日期: 2013-08-28, 公开日期: 2014
Inventors:  伊福廷
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一种在硅衬底表面涂覆光刻胶的方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103400750A, 申请日期: 2013-08-19, 公开日期: 2013-11-20
Inventors:  张天冲;  伊福廷;  王波;  刘静;  张新帅
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一种硅纳米柱阵列光电池的选择性栅极及其制作方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103390657A, 申请日期: 2013-07-22, 公开日期: 2013-11-13
Inventors:  刘静;  伊福廷
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硅光电池纳米织构化P-N结结构及其制作方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103094415A, 申请日期: 2013-01-14, 公开日期: 2013-05-08
Inventors:  刘静;  伊福廷
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一种具有纳米结构表面的硅材料及其制作方法 专利
专利类型: 审中, 专利号: CN103030096A, 申请日期: 2011-10-09, 公开日期: 2013-04-10
Inventors:  伊福廷
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一种气液混合喷嘴结构及其制作方法 专利
专利类型: 授权, 专利号: CN102553746A, 申请日期: 2010-12-31, 公开日期: 2012-07-11
Inventors:  伊福廷
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一种利用电铸技术制造旋转异型金属微孔喷嘴的方法 专利
专利类型: 发明, 授权, 专利号: CN200610083200.3, 申请日期: 2006-06-09,
Inventors:  伊福廷
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电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法 专利
专利类型: 撤回, 专利号: CN1778505, 申请日期: 2004-11-19, 公开日期: 2006-05-31
Inventors:  彭良强;  伊福廷;  张菊芳;  韩勇
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一种全金属光栅 专利
专利类型: 未缴, 专利号: CN2665725, 申请日期: 2003-06-05, 公开日期: 2004-12-22
Inventors:  伊福廷
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