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高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究 期刊论文
物理学报, 1998, 期号: 9, 页码: 89-94
Authors:  郭晓旭;  朱美芳;  刘金龙;  韩一琴;  许怀哲;  董宝中;  生文君;  韩和相
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微晶硅薄膜  薄膜微结构  晶化过程  稀释度  晶态  微空洞  衬底温度  红外谱  散射强度  小角