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FE Model of a Nanopositioning Flexure Stage for Diagnosis of Trajectory Errors
S.P. Kearney; D. Shu
2018
会议(录)名称Proceedings of the 10th Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation
会议日期2018
会议地点Paris
文献类型会议论文
条目标识符https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/281043
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_MEDSI
作者单位ANL, Argonne, Illinois, USA
推荐引用方式
GB/T 7714
S.P. Kearney,D. Shu. FE Model of a Nanopositioning Flexure Stage for Diagnosis of Trajectory Errors[C],2018.
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