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Atomic Layer Deposition of Niobium Nitride from Different Precursors
P.Pizzol; P.Chalker; J.W.Roberts; J.Wrench
2017
会议(录)名称Proceedings of the 8th International Particle Accelerator Conference
会议日期2017
会议地点Denmark
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/261552
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_IPAC
作者单位The University of Liverpool, Liverpool, United Kingdom
推荐引用方式
GB/T 7714
P.Pizzol,P.Chalker,J.W.Roberts,et al. Atomic Layer Deposition of Niobium Nitride from Different Precursors[C],2017.
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