IHEP OpenIR  > 中国科学院高能物理研究所  > 管理与技术支持  > 图片  > BEPC  > 同步辐射
BEPC-同步辐射-光刻、LIGA实验站
图书情报室
文献类型图像
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/257149
专题中国科学院高能物理研究所_管理与技术支持_图片_BEPC_同步辐射
作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
图书情报室. BEPC-同步辐射-光刻、LIGA实验站.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
3B1光刻光束线差分系统正在真空烘烤(1(259KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
3B1光刻光束线真空烘烤前后抽气用涡轮分(294KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
3B1光束线前端区(1989.9陈怀伟 (292KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
100级净化室动力设备安装中,中部为同步(378KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
光刻实验站电子显微镜(1992.7陈怀伟(216KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
光刻实验站反应离子刻蚀机(1992.7陈(230KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
光刻实验站显微镜(1992.7陈怀伟 拍(287KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
同步辐射光刻站--100级净化室动力设备(408KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
同步辐射光刻站--100级净化室动力设备(226KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
用于X线光刻工艺及掩模图形检查的360型(220KB) 开放获取CC BY-NC-SA缩略图
浏览 请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[图书情报室]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[图书情报室]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[图书情报室]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 3B1光刻光束线差分系统正在真空烘烤(1990.4刘捷 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 3B1光刻光束线真空烘烤前后抽气用涡轮分子泵(1990.4刘捷 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 3B1光束线前端区(1989.9陈怀伟 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 100级净化室动力设备安装中,中部为同步辐射光刻机独立地基坑座(1990.4刘捷 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 光刻实验站电子显微镜(1992.7陈怀伟 拍摄) 1.jpg
格式: JPEG
文件名: 光刻实验站反应离子刻蚀机(1992.7陈怀伟 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 光刻实验站显微镜(1992.7陈怀伟 拍摄).jpg
格式: JPEG
文件名: 同步辐射光刻站--100级净化室动力设备安装中(1990.4刘捷 拍摄) 1.jpg
格式: JPEG
文件名: 同步辐射光刻站--100级净化室动力设备安装中(1990.4刘捷 拍摄) 2.jpg
格式: JPEG
文件名: 用于X线光刻工艺及掩模图形检查的360型扫描电子显微镜,最高分辨率25Aº(1990.4刘捷 拍摄).jpg
格式: JPEG
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。