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POTENTIAL OF THE FLASH FEL TECHNOLOGY FOR THE CONSTRUCTION OF A KW-SCALE LIGHT SOURCE FOR THE NEXT GENERATION LITHOGRAPHY
E.L. Saldin; E.A. Schneidmiller; V.F. Vogel; H. Weise; M.V. Yurkov
2009
会议名称Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK ; Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK
会议日期2009
会议地点Liverpool
会议名称Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK ; Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/256220
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_FEL
作者单位DESY, Hamburg
推荐引用方式
GB/T 7714
E.L. Saldin,E.A. Schneidmiller,V.F. Vogel,et al. POTENTIAL OF THE FLASH FEL TECHNOLOGY FOR THE CONSTRUCTION OF A KW-SCALE LIGHT SOURCE FOR THE NEXT GENERATION LITHOGRAPHY[C],2009.
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