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FEL APPLICATIONS IN EUV LITHOGRAPHY
M.Goldstein; S.H.Lee; Y.A.Shroff; P.J.Silverman; D.Williams
2005
会议名称Proceedings of the 27th International Free Electron Laser Conference ; Proceedings of the 27th International Free Electron Laser Conference
会议日期2005
会议地点 California
会议名称Proceedings of the 27th International Free Electron Laser Conference ; Proceedings of the 27th International Free Electron Laser Conference
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/255850
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_FEL
作者单位Intel, Santa Clara, California
推荐引用方式
GB/T 7714
M.Goldstein,S.H.Lee,Y.A.Shroff,et al. FEL APPLICATIONS IN EUV LITHOGRAPHY[C],2005.
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