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Application of Hydrogen Ion Beams for SOI Wafer Formation  
H.J. Woo; H.W. Choi; G.D. Kim; J.K. Kim; W. Hong; Y.Y. Ji KIGAM; W.B. Choi
2004
会议名称APAC 2004 Contributions to the Proceedings ; APAC 2004 Contributions to the Proceedings
会议日期2004
会议地点Korea
会议名称APAC 2004 Contributions to the Proceedings ; APAC 2004 Contributions to the Proceedings
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/254953
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_APAC
作者单位BNP Science
推荐引用方式
GB/T 7714
H.J. Woo,H.W. Choi,G.D. Kim,et al. Application of Hydrogen Ion Beams for SOI Wafer Formation  [C],2004.
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