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Developing RF Structures Using Atomic Layer Deposition
J.Norem; M.Kharitonov; J.Klug; M.J.Pellin; Th.Proslier
会议名称Proceedings of the 25th Linear Accelerator Conference ; Proceedings of the 25th Linear Accelerator Conference
2010
会议名称Proceedings of the 25th Linear Accelerator Conference ; Proceedings of the 25th Linear Accelerator Conference
会议日期2010
会议地点Japan
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/252790
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_LINAC
作者单位ANL, Argonne
推荐引用方式
GB/T 7714
J.Norem,M.Kharitonov,J.Klug,et al. Developing RF Structures Using Atomic Layer Deposition[C],2010.
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