X-ray reflectivity measurement of delta-doped erbium profile in silicon molecular-beam epitaxial layer
Wan, J; Jiang, ZM; Gong, DW; Fan, YL; Sheng, C; Wang X; Jia, QJ; Zheng, WL; Jiang, XM; Jia QJ(贾全杰); Zheng WL(郑文莉); Jiang XM(姜晓明)
刊名PHYSICAL REVIEW B
1999
卷号59期号:16页码:10697-10700
学科分类Physics
DOI10.1103/PhysRevB.59.10697
通讯作者Fudan Univ, Surface Phys Lab, Shanghai 200433, Peoples R China ; Chinese Acad Sci, Inst High Energy Phys, Beijing Synchrotron Radiat Facil, Beijing 100039, Peoples R China
文章类型Article
英文摘要Synchrotron radiation x-ray reflectivity measurement is used to study the concentration profile of a delta-doped Er layer in Si epitaxial film grown by molecular-beam epitaxy. The oscillation of the reflectivity amplitude as a function of reflection angle is observed in the experiment. By doing a theoretical simulation, the concentration profile of Er atoms could be derived. It is shown that the originally grown delta-doped Er layer changes into an exponentially decayed function due to the Er segregation. The temperature dependence of the 1/e decay length indicates that the segregation is a kinetically limited process. The activation energy is determined to be 0.044 +/- 0.005 eV. [S0163-1829(99)11515-7].
类目[WOS]Physics, Condensed Matter
研究领域[WOS]Physics
原文出处查看原文
语种英语
WOS记录号WOS:000080114800047
引用统计
被引频次:1[WOS]   [WOS记录]     [WOS相关记录]
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/240173
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_人力资源处
中国科学院高能物理研究所_中国散裂中子源
作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
Wan, J,Jiang, ZM,Gong, DW,et al. X-ray reflectivity measurement of delta-doped erbium profile in silicon molecular-beam epitaxial layer[J]. PHYSICAL REVIEW B,1999,59(16):10697-10700.
APA Wan, J.,Jiang, ZM.,Gong, DW.,Fan, YL.,Sheng, C.,...&姜晓明.(1999).X-ray reflectivity measurement of delta-doped erbium profile in silicon molecular-beam epitaxial layer.PHYSICAL REVIEW B,59(16),10697-10700.
MLA Wan, J,et al."X-ray reflectivity measurement of delta-doped erbium profile in silicon molecular-beam epitaxial layer".PHYSICAL REVIEW B 59.16(1999):10697-10700.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
7759.pdf(96KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[Wan, J]的文章
[Jiang, ZM]的文章
[Gong, DW]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[Wan, J]的文章
[Jiang, ZM]的文章
[Gong, DW]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[Wan, J]的文章
[Jiang, ZM]的文章
[Gong, DW]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 7759.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。