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Multi-Diagnostic Transverse Profile Monitor Chamber for Extreme Ultraviolet Lithography
T.J.Campese; R.B.Agustsson; M.A.Harrison; B.T.Jacobson; A.Y.Murokh; A.G.Ovodenko; M.Ruelas; H.L.To
2015
会议(录)名称Proceedings of the 4th International Beam Instrumentation Conference ; Proceedings of the 4th International Beam Instrumentation Conference
会议日期2015
会议地点Australia
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/229645
专题学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_IBIC
作者单位RadiaBeam, Santa Monica, California, USA
推荐引用方式
GB/T 7714
T.J.Campese,R.B.Agustsson,M.A.Harrison,et al. Multi-Diagnostic Transverse Profile Monitor Chamber for Extreme Ultraviolet Lithography[C],2015.
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