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Fabrication of folded waveguide for traveling wave tube by ultra-violet lithography galvanik abformung
其他题名折叠波导高频结构UV-LIGA技术研究
Ma TJ(马天军); Sun JH(孙建海); Chen ZH(陈振海); Yi FT(伊福廷); Liu PK(刘濮鲲)
2015
发表期刊真空科学与技术学报
期号11页码:1356-1361
文章类型Article
DOI10.13922/j.cnki.cjovst.2015.11.14
收录类别EI
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文献类型期刊论文
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专题多学科研究中心
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GB/T 7714
Ma TJ,Sun JH,Chen ZH,et al. Fabrication of folded waveguide for traveling wave tube by ultra-violet lithography galvanik abformung[J]. 真空科学与技术学报,2015(11):1356-1361.
APA 马天军,孙建海,陈振海,伊福廷,&刘濮鲲.(2015).Fabrication of folded waveguide for traveling wave tube by ultra-violet lithography galvanik abformung.真空科学与技术学报(11),1356-1361.
MLA 马天军,et al."Fabrication of folded waveguide for traveling wave tube by ultra-violet lithography galvanik abformung".真空科学与技术学报 .11(2015):1356-1361.
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