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Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode
其他题名单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究
Ming X(明希); Yin HX(殷华湘); Meng LK(孟令款); Li JJ(李俊杰); Jia YC(贾云丛); Li ZJ(李贞杰); Yuan F(袁烽); Jiang XS(江晓山); 刘鹏(多); Chen DP(陈大鹏)
2015
发表期刊半导体光电
卷号36期号:2页码:197-201
文章类型Article
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/229129
专题多学科研究中心
实验物理中心
推荐引用方式
GB/T 7714
Ming X,Yin HX,Meng LK,et al. Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode[J]. 半导体光电,2015,36(2):197-201.
APA 明希.,殷华湘.,孟令款.,李俊杰.,贾云丛.,...&陈大鹏.(2015).Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode.半导体光电,36(2),197-201.
MLA 明希,et al."Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode".半导体光电 36.2(2015):197-201.
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