新型LIGA掩模板制造工艺研究
陈迪; 朱军; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷(
刊名高能物理与核物理
2001
期号S1页码:131-134
关键词LIGA掩模板 ICP深刻蚀 LIGA技术
其他题名Study on New Type LIGA Mnssk Fabrication Technique
中文摘要LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺,利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板.与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点.利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究,得到了比较理想的结果.
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/223081
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈迪,朱军,雷蔚,等. 新型LIGA掩模板制造工艺研究[J]. 高能物理与核物理,2001(S1):131-134.
APA 陈迪,朱军,雷蔚,王水,张大成,&伊福廷.(2001).新型LIGA掩模板制造工艺研究.高能物理与核物理(S1),131-134.
MLA 陈迪,et al."新型LIGA掩模板制造工艺研究".高能物理与核物理 .S1(2001):131-134.
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