复合样品厚度参数同步辐射测量方法
易荣清; 崔延莉; 王哲斌; 赵屹东; 郑雷; 马陈燕
刊名强激光与粒子束
2011
期号4页码:974-976
关键词薄膜样品 同步辐射 厚度测量 测量不确定度
其他题名Thickness measurement of complex sample with synchronous radiation
中文摘要薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高,但由于样品质量小,采用称重的方法,测量精度较差。在北京同步辐射装置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束线上(光源能区为0.1~6.0 keV,能量分辨大于1 000),采用材料对单能光子的透过率来确定样品的质量厚度,通过不同能点的测量值进行不确定度分析,提高测量精度,降低不确定度。利用该方法开展了复合样品厚度的测量方法研究,给出了有CH衬底的薄膜样品的厚度,通过不确定度分析得出,薄膜样品厚度的测量不确定度小于1%。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222902
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
易荣清,崔延莉,王哲斌,等. 复合样品厚度参数同步辐射测量方法[J]. 强激光与粒子束,2011(4):974-976.
APA 易荣清,崔延莉,王哲斌,赵屹东,郑雷,&马陈燕.(2011).复合样品厚度参数同步辐射测量方法.强激光与粒子束(4),974-976.
MLA 易荣清,et al."复合样品厚度参数同步辐射测量方法".强激光与粒子束 .4(2011):974-976.
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