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基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)
其他题名Photothermal Microactuator Manufactured by Excimer Laser
章海军; 赵冬伟; 伊福廷; 王波; 张冬仙
2011
发表期刊纳米技术与精密工程
期号5页码:436-439
其他摘要提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0~17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微...
关键词光热微驱动器 微加工 微驱动 动态特性 激光
项目资助者国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z237) ; 国家自然科学基金资助项目(50775205)
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222896
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
章海军,赵冬伟,伊福廷,等. 基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)[J]. 纳米技术与精密工程,2011(5):436-439.
APA 章海军,赵冬伟,伊福廷,王波,&张冬仙.(2011).基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文).纳米技术与精密工程(5),436-439.
MLA 章海军,et al."基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)".纳米技术与精密工程 .5(2011):436-439.
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