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光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统
其他题名A system to measure and calibrate linear displacement of grating monochromators at BSRF
佟亚军; 何晓业; 赵屹东; 郑雷; 肖体乔; 王秋平
2009
发表期刊核技术
期号5页码:321-325
其他摘要在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级。我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定。该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量。应用该系统测出位移范围为160mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达7.5×10-5mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm。
关键词直线位移 测量和标定 光栅单色器
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222695
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
佟亚军,何晓业,赵屹东,等. 光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统[J]. 核技术,2009(5):321-325.
APA 佟亚军,何晓业,赵屹东,郑雷,肖体乔,&王秋平.(2009).光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统.核技术(5),321-325.
MLA 佟亚军,et al."光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统".核技术 .5(2009):321-325.
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