IHEP OpenIR  > 多学科研究中心
nm量级薄膜厚度测量
其他题名Layer thickness measurement of super thin films
陈凯; 崔明启; 郑雷; 赵屹东
2008
发表期刊强激光与粒子束
期号2页码:234-238
通讯作者陈凯
其他摘要为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好。其中,软X射线反射率拟合和Bragg衍射方程方法精度很高,优于1nm,Fourier变换方法精度稍低。对于单层W薄膜样品,3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60)nm,(14.0±1.0)nm和(13.8±1.5)nm;对于双层W/C薄膜样品,W层厚度分别为(12.64±0.60)nm,(13.0±1.0)nm和(13.9±1.5)nm。这3种方法测量结果精度主要取决于...
关键词薄膜厚度 反射率拟合 Bragg衍射 Fourier变换
项目资助者国家自然科学基金资助课题(10374088) ; 中国科学技术大学博士生创新基金资助课题
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222632
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈凯,崔明启,郑雷,等. nm量级薄膜厚度测量[J]. 强激光与粒子束,2008(2):234-238.
APA 陈凯,崔明启,郑雷,&赵屹东.(2008).nm量级薄膜厚度测量.强激光与粒子束(2),234-238.
MLA 陈凯,et al."nm量级薄膜厚度测量".强激光与粒子束 .2(2008):234-238.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
6679.pdf(1255KB)期刊论文作者接受稿限制开放CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[陈凯]的文章
[崔明启]的文章
[郑雷]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[陈凯]的文章
[崔明启]的文章
[郑雷]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[陈凯]的文章
[崔明启]的文章
[郑雷]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。