IHEP OpenIR  > 多学科研究中心
氯化铯纳米岛生长技术
其他题名Growth of CsCl nanoislands
罗亮; 伊福廷; 张菊芳
2008
发表期刊功能材料与器件学报
期号1页码:189-192
通讯作者罗亮
其他摘要氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大。通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低。在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布。
关键词纳米岛 自组装技术 NEMS 纳米加工技术
项目资助者国家自然科学基金(50375150)资助
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222602
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
罗亮,伊福廷,张菊芳. 氯化铯纳米岛生长技术[J]. 功能材料与器件学报,2008(1):189-192.
APA 罗亮,伊福廷,&张菊芳.(2008).氯化铯纳米岛生长技术.功能材料与器件学报(1),189-192.
MLA 罗亮,et al."氯化铯纳米岛生长技术".功能材料与器件学报 .1(2008):189-192.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
6564.pdf(684KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[罗亮]的文章
[伊福廷]的文章
[张菊芳]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[罗亮]的文章
[伊福廷]的文章
[张菊芳]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[罗亮]的文章
[伊福廷]的文章
[张菊芳]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 6564.pdf
格式: Adobe PDF
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。