软X射线反射法测量金属W的光学常量
陈凯; 崔明启; 郑雷; 赵屹东
刊名光子学报
2007
期号10页码:1903-1908
关键词软X射线 金属薄膜 光学常量 反射法 曲线拟合
其他题名Optical Constants of Tungsten from Soft-X- ray Reflectance Measurements
通讯作者崔明启
中文摘要在同步辐射装置3W1B光束线上测量了软X射线能区50~200eV金属W薄膜的反射率,并采用最小二乘拟合得到其光学常量.实验采用三种样品:Si衬底单层W超薄膜,Si衬底W/C双层膜,SiO2衬底W薄膜.分别获得金属W光学常量,三种样品的结果分别代表W薄膜光学常量,WC薄膜结合中W薄膜的光学常量及体材料W的光学常量.结果表明,前两者结果与以往发表数据一致性较好,第三种样品的结果则更接近已发表的体材料的结果.通过实验结果和已发表数据的比较,发现随着薄膜厚度的降低,光学常量实部(色散因子)变化不明显,而虚部(吸收因子)随之升高.实验不确定度来源于光谱纯净度和光源稳定性.
项目资助者国家自然科学基金(10374088)资助
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222504
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈凯,崔明启,郑雷,等. 软X射线反射法测量金属W的光学常量[J]. 光子学报,2007(10):1903-1908.
APA 陈凯,崔明启,郑雷,&赵屹东.(2007).软X射线反射法测量金属W的光学常量.光子学报(10),1903-1908.
MLA 陈凯,et al."软X射线反射法测量金属W的光学常量".光子学报 .10(2007):1903-1908.
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