极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)
朱京涛; 王占山; 王洪昌; 张众; 王风丽; 秦树基; 陈玲燕; 崔明启; 赵屹东; 孙丽娟; 周洪军; 霍同林
刊名光学精密工程
2007
期号12页码:1886-1893
关键词偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射
其他题名Broadband aperiodic Mo/ Si multilayer polarization elements for EUV region
中文摘要研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13 ~19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15 %;在15 ~17 nm波段,获得了37 %的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13 .8 ~15 .5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41 .7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分...
项目资助者Supported by the National Natural Science Foundation of China (No 60378021 and 10435050) ; the Programfor New Century Excellent Talents in University (No NCET-04-0376)
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222501
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
朱京涛,王占山,王洪昌,等. 极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)[J]. 光学精密工程,2007(12):1886-1893.
APA 朱京涛.,王占山.,王洪昌.,张众.,王风丽.,...&霍同林.(2007).极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文).光学精密工程(12),1886-1893.
MLA 朱京涛,et al."极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)".光学精密工程 .12(2007):1886-1893.
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