气体电子倍增器(GEM)聚酰亚胺膜结构的研制
伊福廷; 罗亮; 张菊芳; 陈元柏; 谢一冈; 谢万
刊名高能物理与核物理
2007
期号10页码:929-932
关键词GEM膜 气体电子倍增器 粒子探测器 X光探测器
其他题名Structure Fabrication of PI Film for GEM Detector
通讯作者罗亮
中文摘要气体电子倍增器(GEM,Gas Electron Multiplier)是近些年发展的一种新的气体探测器,具有计数率和位置分辨率高等优点,在粒子物理和X光成像等领域有着广泛的应用前景,近些年来得到了很快的发展.该探测器发展的关键问题之一就是GEM膜结构的制造,该结构需要利用光刻等多项技术来完成,工艺复杂,研制困难.本文介绍了开发GEM膜结构的研究结果,通过干法和湿法腐蚀的研究和对比,优化出GEM膜结构制造的一种工艺过程,并利用该工艺成功完成了GEM膜结构的制造,为国内GEM气体探测器的研究和应用奠定了基础.
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222491
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_实验物理中心
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
伊福廷,罗亮,张菊芳,等. 气体电子倍增器(GEM)聚酰亚胺膜结构的研制[J]. 高能物理与核物理,2007(10):929-932.
APA 伊福廷,罗亮,张菊芳,陈元柏,谢一冈,&谢万.(2007).气体电子倍增器(GEM)聚酰亚胺膜结构的研制.高能物理与核物理(10),929-932.
MLA 伊福廷,et al."气体电子倍增器(GEM)聚酰亚胺膜结构的研制".高能物理与核物理 .10(2007):929-932.
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