基于LIGA技术的微细电火花加工
彭良强
刊名机械工人.冷加工
2004
期号1页码:26-28
关键词微细电火花加工 LIGA技术 微细加工技术 工具电极 微型机电系统 研究机构 喷墨打印机 成形电极 特种加工 磨削工艺
通讯作者彭良强
中文摘要随着众多消费产品向轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222179
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
彭良强. 基于LIGA技术的微细电火花加工[J]. 机械工人.冷加工,2004(1):26-28.
APA 彭良强.(2004).基于LIGA技术的微细电火花加工.机械工人.冷加工(1),26-28.
MLA 彭良强."基于LIGA技术的微细电火花加工".机械工人.冷加工 .1(2004):26-28.
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