IHEP OpenIR  > 多学科研究中心
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
其他题名Optimal process of micro- EDM based on LIGA technique
邹丽芸; 张院春; 彭良强; 黄军容; 伊福廷; 张菊芳; 韩勇
2004
发表期刊电加工与模具
期号S1页码:39-41+94
其他摘要比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
关键词微细加工 LIGA技术 电火花加工
项目资助者北京市自然科学基金资助项目 (3 0 2 2 0 0 5 ) ; 国家 863高技术研究发展计划资助项目 (2 0 0 2AA43 115 0和 2 0 0 3AA40 40 40 )
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222104
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
邹丽芸,张院春,彭良强,等. 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J]. 电加工与模具,2004(S1):39-41+94.
APA 邹丽芸.,张院春.,彭良强.,黄军容.,伊福廷.,...&韩勇.(2004).基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究.电加工与模具(S1),39-41+94.
MLA 邹丽芸,et al."基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究".电加工与模具 .S1(2004):39-41+94.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
5134.pdf(192KB)期刊论文作者接受稿限制开放CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[邹丽芸]的文章
[张院春]的文章
[彭良强]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[邹丽芸]的文章
[张院春]的文章
[彭良强]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[邹丽芸]的文章
[张院春]的文章
[彭良强]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。