微流路生物芯片的研制
伊福廷; 姜雄平; 彭良强; 张菊芳; 韩勇
刊名微纳电子技术
2003
期号Z1页码:356-358+361
关键词MEMS 生物芯片 电泳技术 微结构
其他题名The research of biochip for electrophoresis
通讯作者伊福廷
中文摘要运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用 ,能够满足应用中的基本性能要求
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222068
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
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GB/T 7714
伊福廷,姜雄平,彭良强,等. 微流路生物芯片的研制[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):356-358+361.
APA 伊福廷,姜雄平,彭良强,张菊芳,&韩勇.(2003).微流路生物芯片的研制.微纳电子技术(Z1),356-358+361.
MLA 伊福廷,et al."微流路生物芯片的研制".微纳电子技术 .Z1(2003):356-358+361.
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