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BSRF上的微细塑铸研究
其他题名Research on moulding of microstructure at BSRF
韩勇; 彭良强; 陈迪; 伊福廷; 张菊芳; 黄军容
2003
发表期刊微纳电子技术
期号Z1页码:145-146
通讯作者韩勇
其他摘要利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 ,也会导致变形等问题
关键词LIGA 塑铸 X射线
项目资助者863计划 (2 0 0 2AA40 415 0 ) ; 中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 ) ; 北京市自然科学基金 (3 0 2 2 0 0 5 )
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222066
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
韩勇,彭良强,陈迪,等. BSRF上的微细塑铸研究[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):145-146.
APA 韩勇,彭良强,陈迪,伊福廷,张菊芳,&黄军容.(2003).BSRF上的微细塑铸研究.微纳电子技术(Z1),145-146.
MLA 韩勇,et al."BSRF上的微细塑铸研究".微纳电子技术 .Z1(2003):145-146.
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