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3B1束线上LIGA掩模的设计研究
其他题名Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline
黄军容; 彭良强; 伊福廷; 蒋毅坚; 张菊芳; 韩勇
2003
发表期刊微纳电子技术
期号Z1页码:147-150
通讯作者黄军容
其他摘要BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。
关键词LIGA 掩模 X射线
项目资助者863计划 (2 0 0 2AA43 115 0 ) ; 中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 ) ; 北京市自然科学基金(3 0 2 2 0 0 5 )
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222065
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
黄军容,彭良强,伊福廷,等. 3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):147-150.
APA 黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,&韩勇.(2003).3B1束线上LIGA掩模的设计研究.微纳电子技术(Z1),147-150.
MLA 黄军容,et al."3B1束线上LIGA掩模的设计研究".微纳电子技术 .Z1(2003):147-150.
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