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软X射线激光用分束镜研制
王占山; 吴永刚; 唐伟星; 秦树基; 陈玲燕; 徐向东; 洪义麟; 付绍军; 朱杰; 崔明启
2003
发表期刊科学通报
期号13页码:1398-1401
其他摘要软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。
关键词软X射线 分束镜 多层膜 干涉
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222055
专题多学科研究中心
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GB/T 7714
王占山,吴永刚,唐伟星,等. 软X射线激光用分束镜研制[J]. 科学通报,2003(13):1398-1401.
APA 王占山.,吴永刚.,唐伟星.,秦树基.,陈玲燕.,...&崔明启.(2003).软X射线激光用分束镜研制.科学通报(13),1398-1401.
MLA 王占山,et al."软X射线激光用分束镜研制".科学通报 .13(2003):1398-1401.
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