IHEP OpenIR  > 多学科研究中心
软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析
其他题名Analysis of the Ref lectivity of Mo/Si Multilayer Film for Soft X-Ray
王洪昌; 王占山; 秦树基; 李佛生; 陈玲燕; 朱杰; 崔明启
2003
发表期刊光学学报
期号11页码:1362-1365
其他摘要由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素 ,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率 ,因此 ,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X射线短波段区域 ,采用它的数学模型来描述软X射线多层膜的粗糙度 ,利用最小二乘法曲线拟合法对同步辐射测得的Mo/Si多层膜的反射率曲线进行拟合 ,得到了非常好的拟合结果 ,从而确定了多层膜结构参量 ,同时分析了多层膜周期厚度 ,厚度比率 ,界面宽度以及仪器光谱分辨率对多层膜反射特性的影响 ,这些工作都为镀膜工艺改进提供了一定的理论依据。
关键词薄膜光学 软X射线 多层膜 界面缺陷 参量估算 拟合
项目资助者国家自然科学基金 (6 0 1780 2 1) ; 上海市科技攻关项目(0 2 2 2 6 10 4 9)资助课题
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222031
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
王洪昌,王占山,秦树基,等. 软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析[J]. 光学学报,2003(11):1362-1365.
APA 王洪昌.,王占山.,秦树基.,李佛生.,陈玲燕.,...&崔明启.(2003).软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析.光学学报(11),1362-1365.
MLA 王洪昌,et al."软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析".光学学报 .11(2003):1362-1365.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
4912.pdf(164KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[王洪昌]的文章
[王占山]的文章
[秦树基]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[王洪昌]的文章
[王占山]的文章
[秦树基]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[王洪昌]的文章
[王占山]的文章
[秦树基]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 4912.pdf
格式: Adobe PDF
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。