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同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术
其他题名INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY
刘刚; 田扬超; 伊福廷; 彭良强
2002
发表期刊物理
期号11页码:736-740
其他摘要简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状
关键词LIGA技术 微电子机械系统 同步辐射光刻
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221961
专题多学科研究中心
实验物理中心
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GB/T 7714
刘刚,田扬超,伊福廷,等. 同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术[J]. 物理,2002(11):736-740.
APA 刘刚,田扬超,伊福廷,&彭良强.(2002).同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术.物理(11),736-740.
MLA 刘刚,et al."同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术".物理 .11(2002):736-740.
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