LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究
彭良强; 伊福廷; 张院春; 邹丽芸; 张菊芳; 韩勇
刊名微细加工技术
2002
期号2页码:72-74
关键词微细加工 LIGA技术 电火花加工
其他题名Fabrication of Stainless Steel Microstructure by LIGA and Micro- EDMTechniques
通讯作者彭良强 ; 伊福廷 ; 张院春 ; 邹丽芸 ; 张菊芳 ; 韩勇
中文摘要通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。
项目资助者中国科学院知识创新工程资助项目 (U - 5 16 - 5 ) ; 北京市自然科学基金资助项目 (30 2 2 0 0 5 )
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221958
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
彭良强,伊福廷,张院春,等. LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究[J]. 微细加工技术,2002(2):72-74.
APA 彭良强,伊福廷,张院春,邹丽芸,张菊芳,&韩勇.(2002).LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究.微细加工技术(2),72-74.
MLA 彭良强,et al."LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究".微细加工技术 .2(2002):72-74.
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