LIGA工艺在工程中的两类应用
高杨; 李枚; 彭良强; 张菊芳; 黄军容
刊名核技术
2002
期号10页码:883-888
关键词LIGA 密码锁 加速度开关 MEMS
其他题名Two engineering applications of LIGA technology
中文摘要本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 ,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221916
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
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GB/T 7714
高杨,李枚,彭良强,等. LIGA工艺在工程中的两类应用[J]. 核技术,2002(10):883-888.
APA 高杨,李枚,彭良强,张菊芳,&黄军容.(2002).LIGA工艺在工程中的两类应用.核技术(10),883-888.
MLA 高杨,et al."LIGA工艺在工程中的两类应用".核技术 .10(2002):883-888.
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