甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究
陈永明; 彭良强; 陈传福; 伊福廷; 习复
刊名微细加工技术
2001
期号3页码:64-67
关键词甲基丙烯酸甲酯共聚物 LIGA 抗蚀剂 光敏性
其他题名Investigation of methyl methacrylate copolymers as the resist in LIGA process
中文摘要设计合成了具有头 -头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧基的甲基丙烯酸甲酯共聚物 ,研究了它们作为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能 ,结果表明适当大小空间侧基的引入 ,有助于改善甲基丙烯酸甲酯型抗蚀剂的光敏性。
项目资助者国家基金委资助项目 (5 94 730 11)
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221859
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈永明,彭良强,陈传福,等. 甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究[J]. 微细加工技术,2001(3):64-67.
APA 陈永明,彭良强,陈传福,伊福廷,&习复.(2001).甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究.微细加工技术(3),64-67.
MLA 陈永明,et al."甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究".微细加工技术 .3(2001):64-67.
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