PMMA在LIGA技术中的应用
陈永明; 伊福廷; 陈传福; 彭良强; 习复
刊名微细加工技术
2001
期号4页码:36-38+43
关键词LIGA技术 抗蚀剂 聚甲基丙烯酸甲酯 深度光刻
其他题名Application of PMMA Resist in LIGA Technique
中文摘要合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂 ,采用同步辐射装置X射线深度曝光 ,可得到深宽比 4 5~ 90 ,深度大于 4 50微米 ,细线宽 5~ 1 0微米的良好光刻图形
项目资助者国家基金委资助项目 (5 94 730 11)
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221858
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈永明,伊福廷,陈传福,等. PMMA在LIGA技术中的应用[J]. 微细加工技术,2001(4):36-38+43.
APA 陈永明,伊福廷,陈传福,彭良强,&习复.(2001).PMMA在LIGA技术中的应用.微细加工技术(4),36-38+43.
MLA 陈永明,et al."PMMA在LIGA技术中的应用".微细加工技术 .4(2001):36-38+43.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
4396.pdf(139KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[陈永明]的文章
[伊福廷]的文章
[陈传福]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[陈永明]的文章
[伊福廷]的文章
[陈传福]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[陈永明]的文章
[伊福廷]的文章
[陈传福]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 4396.pdf
格式: Adobe PDF
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。