利用LIGA技术研制超微步进电机
伊福廷; 彭良强; 张菊芳; 韩勇
刊名微特电机
2001
期号3页码:18-20
关键词LIGA技术 超微步进电机 微机械系统 微加工技术
其他题名The Fabrication of Stepping Micro -motor Using LIGA Technology
通讯作者伊福廷
中文摘要文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成 ,线圈由手工在显微镜下绕制完成 ,转子直径 2mm ,整个电机直径 5mm。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221857
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
伊福廷,彭良强,张菊芳,等. 利用LIGA技术研制超微步进电机[J]. 微特电机,2001(3):18-20.
APA 伊福廷,彭良强,张菊芳,&韩勇.(2001).利用LIGA技术研制超微步进电机.微特电机(3),18-20.
MLA 伊福廷,et al."利用LIGA技术研制超微步进电机".微特电机 .3(2001):18-20.
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