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悬空金属微条探头的制造
其他题名MANUFACTURE OF HANGING METAL MICRO STRIP DETECTOR
伊福廷; 晋明; 唐鄂生; 谢一冈
1996
发表期刊微细加工技术
期号4页码:63-66
通讯作者伊福廷
其他摘要悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器──微条气体室的探测元件。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度都可控制在微米量级,因此能够得到非常好的空间分辨率,并具有抗辐射、低成本等独特优点。
关键词核物理 微条气体室 微细加工 高能粒子探测器
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221497
专题多学科研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
伊福廷,晋明,唐鄂生,等. 悬空金属微条探头的制造[J]. 微细加工技术,1996(4):63-66.
APA 伊福廷,晋明,唐鄂生,&谢一冈.(1996).悬空金属微条探头的制造.微细加工技术(4),63-66.
MLA 伊福廷,et al."悬空金属微条探头的制造".微细加工技术 .4(1996):63-66.
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