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软X射线衍射色散元件
袁利祥; 范正修; 殷功杰; 崔明启; 沈孝良
1994
发表期刊量子电子学
期号2页码:88-89
其他摘要软X射线衍射色散元件袁利祥,范正修,殷功杰(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)崔明启(中国科学院高能物理研究所,北京100039)沈孝良(复旦大学分析测试中心,上海200433)纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软x...
关键词沉积技术 崔明 菲涅耳波带片 衍射特性 孝良 光波长 离子束刻蚀 衍射角 反射型 扫描电子显微镜
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221358
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GB/T 7714
袁利祥,范正修,殷功杰,等. 软X射线衍射色散元件[J]. 量子电子学,1994(2):88-89.
APA 袁利祥,范正修,殷功杰,崔明启,&沈孝良.(1994).软X射线衍射色散元件.量子电子学(2),88-89.
MLA 袁利祥,et al."软X射线衍射色散元件".量子电子学 .2(1994):88-89.
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