纳米厚度非透明介质薄膜的测量
缪建伟; 崔明启; 唐鄂生; 修立松
刊名光学精密工程
1994
期号1页码:21--25
关键词椭偏仪 台阶仪 多次入射选择最佳法
其他题名MEASURING AND CALCULATING THE THICKNESS OF NON-TRANSPARENT DIELECTRIC THIN FILM
通讯作者缪建伟
中文摘要本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法,给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法(下降法)计算得到的膜厚结果,并与台阶仪测试结果进行了比较。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221331
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
缪建伟,崔明启,唐鄂生,等. 纳米厚度非透明介质薄膜的测量[J]. 光学精密工程,1994(1):21--25.
APA 缪建伟,崔明启,唐鄂生,&修立松.(1994).纳米厚度非透明介质薄膜的测量.光学精密工程(1),21--25.
MLA 缪建伟,et al."纳米厚度非透明介质薄膜的测量".光学精密工程 .1(1994):21--25.
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