北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统
崔明启; 刘丽冰; 徐文轩; 唐鄂生; 吴坚武; 王培玮; 尹福廷; 陈光辉
刊名核电子学与探测技术
1992
期号6页码:337-343
关键词同步辐射 X光光刻监测系统 垂直位置 均匀性
其他题名THE BEAM MONITORING SYSTEM FOR 3B1 ON BSRF
通讯作者崔明启
中文摘要本文介绍了安装在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统,对光束垂直位置、光斑均匀性及光刻曝光量(同步光积分光强)实现了在线监控,给出了实时在线测试结果。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221233
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
中国科学院高能物理研究所_加速器中心
中国科学院高能物理研究所_大装置管理中心
推荐引用方式
GB/T 7714
崔明启,刘丽冰,徐文轩,等. 北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统[J]. 核电子学与探测技术,1992(6):337-343.
APA 崔明启.,刘丽冰.,徐文轩.,唐鄂生.,吴坚武.,...&陈光辉.(1992).北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统.核电子学与探测技术(6),337-343.
MLA 崔明启,et al."北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统".核电子学与探测技术 .6(1992):337-343.
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