锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析
刘世杰; 吴越; 谢葆珍; 李春瑛; 耿小敏; 吴佩琏
刊名激光与红外
1988
期号4页码:30-33
关键词红外探测器 锑化铟 钝化膜 氢含量 淀积 射频功率 氦离子 等离子体增强 腐蚀速率 氢原子
通讯作者刘世杰
中文摘要用氦离子前角反冲技术研究了等离子体增强化学气相淀积工艺制备的红外探测器二氧化硅钝化膜膜层内的氢含量、浓度以及氢分布的深度。结果表明,所测量的氢分布深度与椭偏法所测得膜厚结果是一致的,膜层中氢的含量随淀积时间的增加是非线性的、氢含量与浓度随淀积温度和射频功率密度的增加而减少。实验也表明了膜层的腐蚀速率与氢含量的关系。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221044
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
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GB/T 7714
刘世杰,吴越,谢葆珍,等. 锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析[J]. 激光与红外,1988(4):30-33.
APA 刘世杰,吴越,谢葆珍,李春瑛,耿小敏,&吴佩琏.(1988).锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析.激光与红外(4),30-33.
MLA 刘世杰,et al."锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析".激光与红外 .4(1988):30-33.
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