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聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响
其他题名EFFECT OF THE CONCENTRATION OF POLYCARBONATE ETCHING PRODUCTS IN NaOH SOLUTION ON BULK ETCH RATE AND RELATIVE SENSITIVITY
吴日升; 崔浣华
1988
发表期刊核技术
期号9页码:8--9
通讯作者吴日升
其他摘要本文研究聚碳酸酶C_(pc)(国产)和L_(pc)(Lexan)蚀刻产物在温度60、70℃和6、7mol/l NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度V_g及相对灵敏度(V_T/V_g)的影响。L_(pc)和C_(pc)的V_g值随它们的蚀刻产物浓度的上升而增加,在蚀刻产物浓度达到某一值后V_g趋于平稳,并保持此最大值;而V_T/V_g值基本上不随蚀刻产物浓度而变化。
关键词蚀刻产物 体蚀刻速度 相对灵敏度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221038
专题多学科研究中心
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GB/T 7714
吴日升,崔浣华. 聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响[J]. 核技术,1988(9):8--9.
APA 吴日升,&崔浣华.(1988).聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响.核技术(9),8--9.
MLA 吴日升,et al."聚磷酸酯蚀刻产物在NaOH溶液中的浓度对体蚀刻速度及相对灵敏度的影响".核技术 .9(1988):8--9.
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