沟道效应及某些应用的研究
王豫生; 阎建华; 郑胜男; 殷士端; 张敬平; 顾诠; 代爱平; 谢葆珍; 刘士杰
刊名核技术
1987
期号6页码:23-28+61
关键词沟道效应 辐射损伤测定 表面组分分析 异质外延层的缺陷分析
其他题名CHANNELILING EFFECT AND ITS APPLICATION
中文摘要本文介绍沟道-背散射分析的实验装置。用沟道-背散射方法进行了辐射损伤测定、表面组分分析、异质外延层的缺陷分析,得到了一些对半导体材料工艺、集成电路研制的有意义的结果。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220992
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
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GB/T 7714
王豫生,阎建华,郑胜男,等. 沟道效应及某些应用的研究[J]. 核技术,1987(6):23-28+61.
APA 王豫生.,阎建华.,郑胜男.,殷士端.,张敬平.,...&刘士杰.(1987).沟道效应及某些应用的研究.核技术(6),23-28+61.
MLA 王豫生,et al."沟道效应及某些应用的研究".核技术 .6(1987):23-28+61.
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