位敏电离室测X光强分布
唐鄂生; 崔明启; 王艳菊
刊名核电子学与探测技术
1986
期号4页码:212-215+198
关键词X光 均匀性 位置灵敏电离室 多路扫描
其他题名MEASUREMENT OF THE UNIFORMITY OF X-RAY ILLUMINANCE WITH POSITIONI SENSITIVE IONIZATION CHAMBER
通讯作者唐鄂生
中文摘要用多收集电极的位置灵敏电离室测量了光刻用8光斑的均匀性分布及其总强度。实验结果表明该系统结构简单性能稳定,可推广应用到其他X光测量系统中去。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220928
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
唐鄂生,崔明启,王艳菊. 位敏电离室测X光强分布[J]. 核电子学与探测技术,1986(4):212-215+198.
APA 唐鄂生,崔明启,&王艳菊.(1986).位敏电离室测X光强分布.核电子学与探测技术(4),212-215+198.
MLA 唐鄂生,et al."位敏电离室测X光强分布".核电子学与探测技术 .4(1986):212-215+198.
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