硅上硅化钛相变和生长动力学研究
胡仁元; 王忠烈; 刘伊犁; 谢葆珍
刊名北京师范大学学报(自然科学版)
1986
期号1页码:28-30
关键词生长动力学 硅化物 抛物线规律 衍射谱 退火时间 原子数 反应生成物 酸水溶液 表面氧化 难熔金属
其他题名INVESTIGATION OF PHASE CHANGE AND GROWTH KINETICS OF TITANIUM SILICIDE ON SILICON
中文摘要用RBS及X线衍射研究了硅上钛薄膜退火时形成硅化物的相变和生长动力学。650℃退火形成TiSi_2相,TiSi_2层生长服从Kidon抛物线层生长规律。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/220918
专题中国科学院高能物理研究所_多学科研究中心_期刊论文
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GB/T 7714
胡仁元,王忠烈,刘伊犁,等. 硅上硅化钛相变和生长动力学研究[J]. 北京师范大学学报(自然科学版),1986(1):28-30.
APA 胡仁元,王忠烈,刘伊犁,&谢葆珍.(1986).硅上硅化钛相变和生长动力学研究.北京师范大学学报(自然科学版)(1),28-30.
MLA 胡仁元,et al."硅上硅化钛相变和生长动力学研究".北京师范大学学报(自然科学版) .1(1986):28-30.
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